Microscope confocal 3D VT6200
Fourni, vendu et soutenu par Petrano Supply Inc. au Canada.
Microscope confocal à disque rotatif pour la métrologie de surface sous-nanométrique avec assemblage automatisé.
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Aperçu
Le VT6200 utilise un système optique confocal à disque rotatif avec une plage de balayage Z de 10 mm, une résolution d’affichage de hauteur de marche de 0,1 nm et une répétabilité de 12 nm ou mieux. Platine XY motorisée de 200 x 200 mm, Z motorisé de 100 mm, objectifs Olympus APO et SEMI-APO de 5X à 100X, imagerie en couleurs réelles et logiciel XtremeVision avec assemblage automatique et plus de 300 paramètres de surface ISO/ASME (dont la suite ISO 25178). Certificats d’étalonnage ISO 17025, installation, mise en service et formation sur site offerts en option.
Applications
- Rugosité et texture de surface (Sa, Sq, Sdr, Spd, Spc)
- CQ des semi-conducteurs et de la fabrication de précision
- Laboratoires de métrologie de recherche
Spécifications clés
| Principe | Spinning-disk confocal optical system |
|---|---|
| Série | VT6100 (100 x 100 mm stage) / VT6200 (200 x 200 mm) / VT6300 (300 x 300 mm); VT-X100 integration head |
| Champ de vision | 120 x 120 μm to 2.4 x 2.4 mm |
| Exactitude en hauteur | ±(0.2 + L/100) μm; width accuracy ±2%, repeatability 40 nm |
| Plage de balayage Z | 10 mm |
| Résolution d’affichage (hauteur de marche) | 0.1 nm |
| Répétabilité (hauteur de marche) | 12 nm or better |
| Platine XY | 200 x 200 mm, motorized |
| Objectifs | Olympus 5X / 10X / 20X / 50X / 100X (APO, SEMI-APO) |
| Logiciel | XtremeVision with automatic stitching, 300+ ISO/ASME parameters incl. ISO 25178 |
| Options | True-colour imaging, ISO 17025 calibration, installation and training |
Les spécifications sont fournies par le fabricant, sont présentées à titre informatif seulement, peuvent changer sans préavis et sont confirmées au moment du devis.
Les marques de tiers sont utilisées à des fins d’identification seulement, sauf lorsqu’une relation autorisée est expressément indiquée.
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