Profilomètre nano à stylet NS200
Fourni, vendu et soutenu par Petrano Supply Inc. au Canada.
Profilomètre à stylet pour hauteur de marche, rugosité et contour à l’échelle nanométrique.
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Aperçu
Le profilomètre à stylet NS200 mesure la hauteur de marche, la rugosité et le contour par balayage avec contact, en complément des méthodes optiques sur films, revêtements et surfaces usinées. Un capteur à très faible inertie d’une plage de 330 µm ou 1050 µm, une force de mesure réglable de 0,5 à 50 mg et une répétabilité de hauteur de marche de 5 Å conviennent aux couches minces et aux échantillons souples, tandis que la platine motorisée X/Y de 150 x 150 mm et R-θ avec mandrin à vide de 6 pouces accepte des plaquettes jusqu’à 200 mm.
Applications
- Couches minces et revêtements
- Contrôle des procédés semi-conducteurs
Spécifications clés
| Type de mesure | Contact stylus profilometry |
|---|---|
| Grandeurs mesurées | Step height, roughness, contour |
| Capteur | Ultra low inertia LVDC sensor, range 330 µm or 1050 µm (selectable) |
| Répétabilité de hauteur de marche | 5 Å (1 µm step, 1σ) |
| Force de mesure | 0.5 to 50 mg, adjustable |
| Stylet | Tip radius 2 µm, angle 60°, magnetic mounting |
| Longueur et vitesse de balayage | 55 mm single scan; 2 µm/s to 2 mm/s; up to 12,000 points per scan |
| Platine porte-échantillon | Motorized X/Y 150 x 150 mm, motorized R-θ 0 to 360°, 6 inch vacuum chuck |
| Taille d’échantillon | Wafers up to 200 mm (8 inch); sample height up to 50 mm |
| Caméra de navigation | 5 MP colour, field of view 2.2 x 1.7 mm (NS200); NS200-D adds a side view |
| Dimensions, masse, alimentation | 640 x 650 x 530 mm; 40 kg; AC 100 to 240 V, 50/60 Hz, 200 W |
Les spécifications sont fournies par le fabricant, sont présentées à titre informatif seulement, peuvent changer sans préavis et sont confirmées au moment du devis.
Les marques de tiers sont utilisées à des fins d’identification seulement, sauf lorsqu’une relation autorisée est expressément indiquée.
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