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Petrano
VT6200 Partenaire représenté

Microscope confocal 3D VT6200

par Chotest · China

Microscope confocal à disque rotatif pour la métrologie de surface sous-nanométrique avec assemblage automatisé.

Aperçu

Le VT6200 utilise un système optique confocal à disque rotatif avec une plage de balayage Z de 10 mm, une résolution d’affichage de hauteur de marche de 0,1 nm et une répétabilité de 12 nm ou mieux. Platine XY motorisée de 200 x 200 mm, Z motorisé de 100 mm, objectifs Olympus APO et SEMI-APO de 5X à 100X, imagerie en couleurs réelles et logiciel XtremeVision avec assemblage automatique et plus de 300 paramètres de surface ISO/ASME (dont la suite ISO 25178). Certificats d’étalonnage ISO 17025, installation, mise en service et formation sur site offerts en option.

Applications

  • Rugosité et texture de surface (Sa, Sq, Sdr, Spd, Spc)
  • CQ des semi-conducteurs et de la fabrication de précision
  • Laboratoires de métrologie de recherche

Spécifications clés

Principe Spinning-disk confocal optical system
Plage de balayage Z 10 mm
Résolution d’affichage (hauteur de marche) 0.1 nm
Répétabilité (hauteur de marche) 12 nm or better
Platine XY 200 x 200 mm, motorized
Objectifs Olympus 5X / 10X / 20X / 50X / 100X (APO, SEMI-APO)
Logiciel XtremeVision with automatic stitching, 300+ ISO/ASME parameters incl. ISO 25178
Options True-colour imaging, ISO 17025 calibration, installation and training

Les spécifications sont fournies par le fabricant, sont présentées à titre informatif seulement, peuvent changer sans préavis et sont confirmées au moment du devis.

À propos de Chotest

Métrologie dimensionnelle de précision, des machines de mesure par coordonnées et optiques aux interféromètres laser, systèmes de poursuite laser et métrologie de surface.

Site du fabricant: www.chotest.com

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