Profilomètres de surface optiques 3D nano
Fourni, vendu et soutenu par Petrano Supply Inc. au Canada.
Profilométrie optique sans contact pour la forme et le fini de surface 3D.
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Aperçu
Profilomètres optiques 3D sans contact pour caractériser la forme, l’ondulation et le fini des optiques, plaquettes, MEMS et pièces usinées de précision.
Applications
- Optiques et plaquettes
- MEMS et microstructures
Spécifications clés
| Type de mesure | Non-contact 3D optical profilometry (white-light interferometry) |
|---|---|
| Modèles | SuperView W1-Lite / W1 / W1-Ultra / W2 / W3; WX100 / WX100T probes; WT3000 / WT3200 / WT3300 hybrid (interferometry + confocal) |
| Répétabilité de rugosité | Down to 0.005 nm RMS (0.01 nm on W1-Lite and WX probes) |
| Exactitude de hauteur de marche | 0.3% (0.7% W1-Lite; 0.5% WX probes); repeatability 0.08 to 0.1% 1σ |
| Champ de vision | 0.98 x 0.98 mm standard (1.1 x 1.1 mm W1-Ultra; 1.2 x 1.2 mm WT series) |
| Course de platine XY | 100 x 100 mm to 300 x 300 mm, motorized; tables ø165 to ø400 mm, 10 to 20 kg load |
| Course de l’axe Z | 50 to 100 mm (10 mm scan stroke on WT hybrids; 10 / 30 mm on WX probes) |
| Mode confocal hybride (WT) | 10x / 50x confocal objectives; step-height accuracy (0.15 + L/100) μm, repeatability 12 nm |
| Garantie | 1 year manufacturer warranty |
Les spécifications sont fournies par le fabricant, sont présentées à titre informatif seulement, peuvent changer sans préavis et sont confirmées au moment du devis.
Les marques de tiers sont utilisées à des fins d’identification seulement, sauf lorsqu’une relation autorisée est expressément indiquée.
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